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공용장비 기업지원

SOONCHUNHYANG INDUSTRY-ACADEMY COOPERATION FOUNDATION

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공용장비

스핀코터Spin coater

(교내)자산관리번호 : 2022-0026-001 (ZEUS)시설장비등록번호 : NFEC-2023-08-289176

모델명 / 제작사 / 국가
SPIN-1200D / 마이다스시스템(주) / 대한민국
취득금액
9,950,000원
취득일자
2022-01-06
보유기관명(관리부서)
순천향대학교 산학협력단
표준분류(대 > 중 > 소분류)
기계가공/시험장비>성형/가공장비>코팅기

공용장비 소개

공용장비
설명
"
*기판 위에 박막을 만들기 위한 장치
*기판 위에 코팅한 용액을 떨어뜨려 주고 회전을 통해 기판 전 표면에 고르게 코팅함
*4인치 샘플까지 코팅할 수 있음."
장비구성 및
성능
"
*Substrate size: piece-up to 4 inch
*Spin speed: 300-7,000 rpm
*Spin recipe: 50 steps, 50 recipe
*Acceleration/Deceleration rate: Variable
*Oiless vacuum pump pressure: -650 mmHg
*Electric power: 220 V, 5 A"
장비활용
예시
-

문의

관리부서
생명자원 바이오빅데이터 분석 및 활용 연구지원센터
담당자명
오다은
전화번호
010-7504-6710
팩스
이메일
dani0607@sch.ac.kr

위치

건물명
자연과학관
호실번호
3520
호실명
Biosensor 최적화실