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시료의 표면을 매우 가는 금속 Tip(cantilever)의 끝을 이용하여 원자 간의 힘을 광학적 방법으로 측정 Tip과 시료표면의 원자사이에 작용하는 반데르발스힘을 검출하여 시료의 표면스캔 Cantilever의 Tip 끝에 레이저를 반사시켜 반사되는 레이저의 위치를 이용하여 이미지생성"
장비구성 및 성능
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[XY Scanner]
50 um x 50 um
Resolution: 0.05 nm
[Motorized Stage]
Sample size: up to 50 mm x 50 mm, up to 20 mm thickness
Sample weight: up to 500 g
[Z Scanner range]
Scan range: 15 um
Resolution: 0.015 nm"