요약
본 발명에 따른 유기 발광 표시 장치의 제조 방법은 기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계, 근접 거리 증착 방법(CDS: Closed Spaced Deposition)으로 유기물 원료 소스를 승화시켜, 하부 전극 상에 유기물층을 형성하는 단계, 유기물층 상에 상부 전극을 형성하는 단계를 포함한다.
따라서, 본 발명의 실시예들에 의하면 원료 소스가 승화되어 기판에 증착되는 시간을 종래에 비해 단축할 수 있다. 또한, 액상의 원료 소스를 이용하므로, 종래와 같이 파우더 상태의 원료를 이용할 때에 비해 원료의 소모가 적은 장점이 있다. 그리고 램프 히터를 이용하여 원료 소스를 가열하므로, 종래에 비해 낮은 온도에서 증착 공정을 실시할 수 있으며, 저진공 분위기에서 막질이 우수한 박막을 증착할 수 있다.
