본 발명에 따른 보호막은 무기물층, 유기물로 이루어진 복수의 패턴이 무기물층 상에서 상호 이격되어 형성된 유기물 패턴층을 포함한다. 따라서, 본 발명의 실시예들에 의하면 유기물 패턴층은 무기물층에 형성될 수 있는 결함으로 수분 및 산소가 침투하는 것을 방지할 수 있다. 이에, 실시예들에 의하면 수분 및 산소의 침투를 최소화하는 기판을 제작할 수 있다. 특히 베이스가 플랙서블한 고분자 필름, 종이, 플라스틱(PE, PES, PEN 등) 일 경우, 종래에 비하여 수분 및 산소의 침투 방지 효과가 크다. 또한, 실시예들에 따른 전자 소자에서는 베이스와 소자층 사이 및 상기 소자층의 상측 중 적어도 어느 하나의 위치에 보호막을 형성하는데, 여기서 보호막은 무기물층 및 유기물 재료를 이용하여 형성된 복수의 패턴이 상기 무기물층 상에서 상호 이격 배치되는 유기물 패턴층으로 이루어진다. 이에, 상기와 같은 보호막에 의해 외부의 수분 및 산소가 침투되어 전자 소자의 효율 및 수명이 감소되는 것을 최소화할 수 있다.