요약
본 발명은, 기판을 가운데 두고 각각 상부 및 하부에 배치되어 상기 기판을 가열/냉각하는 열판을 각각 갖는 고온 엠보싱 나노 임프린트 리소그래피 장치에 있어서, 빈 내부공간을 갖는 열판 본체; 상기 열판 본체의 내부공간에 배치되어 상기 기판을 가열하는 가열 장치; 상기 열판 본체의 내부공간에 배치되어 상기 기판을 냉각시키는 냉각 장치; 및 상기 가열 장치와 냉각 장치 중 어느 하나를 다른 하나보다 상기 기판에 더 가깝게 이동시키는 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
