요약
선형 증착 소스(linear deposition source)가 개시되어 있다. 일 실시예에서, 선형 증착 소스는, 증발 재료를 수용하는 컨테이너 및 증착층이 형성되는 기판상에 증발된 재료가 균일하게 분출되도록 열 에너지를 생성하게끔 구성된 히터를 포함한다. 상기 히터는 상기 컨테이너 상에 제공되며, 상기 컨테이너의 중앙부에 길이 방향으로 위치한 상기 히터 부분는 상기 히터의 다른 부분보다 더 많은 열 에너지를 생성한다. 상기 히터는 정현파 패턴으로 구성된 코일을 포함하며, 상기 컨테이너의 중앙부에 길이 방향으로 위치한 상기 코일 부분의 굴곡 피치(curvature pitch) 또는 높이(height)는 상기 코일의 다른 부분과 서로 상이하도록 설정된다. 또한, 상기 컨테이너의 중앙부에 길이 방향으로 위치한 상기 코일 부분의 저항값은 상기 코일의 다른 부분보다 크도록 설정될 수 있다.
