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SOONCHUNHYANG INDUSTRY-ACADEMY COOPERATION FOUNDATION

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지식재산권

초전도 전자석을 이용한 박막 증착장치.

권리구분
특허
출원일자
2005-07-20
출원번호
10-2005-0065552
등록일자
2006-12-29
등록번호
10-0665524-00-00
법적상태
등록
발명자소속
전기공학과
발명자
차귀수
대표출원인
산학협력단
단독출원여부
특허 상세보기
비고
요약