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지식재산권

고온 엠보싱 나노 임프린트 리소그래피 장치를 위한 열판 장치

권리구분
특허
출원일자
2010-08-04
출원번호
10-2010-0075151
등록일자
2011-12-06
등록번호
10-1093285-00-00
법적상태
등록
발명자소속
기계공학과
발명자
김국원, 전상범
대표출원인
산학협력단
단독출원여부
특허 상세보기
비고
요약