반도체 장치의 특성 및 제조 공정을 파악하기 위해 설계된 분석기. 반도체 장치 및 재료의 DC 특성을 파악할 수 있는 독립형 계측기. 전압 빛 전류에 민감한 장치를 자극하고, 결과 전류 및 전압 신호를 측정하여 사용자가 선택할 수 있는 형식(graph, list, matrix or schmoo)으로 결과를 표시함.
장비구성 및 성능
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*Source/Monitor unit (SMU)
*Output/measurement resolution (noltage, 41/2 digits; current, 4 digits)
*Voltage measurement input resistance/current source output resistance: ≥ 1012Ω
*Maximum voltage compliance: 20 V, 40 V or 100 V, depending on the output current range
*Maximum current compliance: 20 mA, 50 mA, or 100 mA, depending on the output voltage range
*software (Win4145)"