라디오 주파수장에 의해 생성·유지되는 Argon 플라즈마의 이온원(ion source)을 이용하여 시료를 이온화하고 Electrostatic 렌즈가 양전하를 가지고 있는 이온을 특정 질량 대 전하의 비율(m/z)에 따라 추출하여 4중극(quadrupole) 필터로 보내고 다시 원소별 질량분석을 한다. 또한 이온의 숫자는 ion detection system에서 표준물질과 비교하여 농도로 계산하고, 시료도입부분에 LC를 연결하여 분리 기술을 이용한 화학종(chemical species) 및 유기 금속종(organometallic) 분석이 가능하다.
장비구성 및 성능
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시료도입 시스템, 라디오주파수 발생기, 인터페이스(튜니 인터페이스 코일방식), 이온광학계 시스템(소형사중극자방식의 필터), 질량분석기(스캔속도: >5,000 amu/sec), 간섭제거 시스템, 검출시스템, 소프트웨어"