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우수성과

[이달의 우수논문_24년 1월] Effect of dilution gas on the distribution characteristics of capacitively coupled plasma by comparing SiH<sub>4</sub>/He and SiH<sub>4</sub>/Ar

구분 SCIE
학술지명 PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY
IF 3.8
저자명 박환열
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